台积电魏哲家密访ASML 外媒：A16「不买High-NA EUV」立场变了
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*(photo:EtToday)▲台积电总裁魏哲家。（资料照／记者汤兴汉摄）
记者吴美依／综合报导
台积电曾表示，半导体设备制造商艾司摩尔（ASML）的高数值孔径极紫外光机台（High-NA EUV）太过昂贵，在2026年以前使用，不符合经济效益。但根据外媒引述的最新业界消息，台积电总裁魏哲家26日造访了ASML荷兰总部，不禁让外界揣测，台积电是否改变心意。
台积电业务开发、海外营运办公室资深副总经理暨副共同营运长张晓强曾经坦言，自己非常喜欢High-NA EUV机台的功能，但其售价实在太昂贵。他透露，相关制程比预期快很多，不需要该机台也能打造A16制程的晶片。
不过，根据Business Korea、外国科技新闻网站wccftech等报导，魏哲家23日并未出席台积电技术论坛，反而远赴欧洲，秘密造访ASML荷兰总部，以及工业雷射公司创浦（TRUMPF）德国总部，「随着其CEO秘密造访ASML总部，这间晶片代工厂似乎正在重新考虑这个明确立场……该公司在High-NA EU曝光技术方面可能发生策略变化」。
金融分析师尼斯特（Dan Nystedt）也发文提及魏哲家密访ASML的报导。他认为，台积电似乎加入了竞逐High-NA EU机台的行列，「魏哲家的访问据称表示台积电想要这些新机台，这些机台对于2奈米以下的制程至关重要」，而ASML去年12月已向台积电主要竞争对手英特尔（Intel）交付了第一台High-NA EUV机台。
